粉末冶金等离子和等离子加工技术,SPS使用放电等离子进行烧结。等离子体是物质在高温或特定激发下的一种状态。它是除固态、液态和气态之外的第四种物质状态。等离子体是一种电离气体,由大量带正负电的粒子和中性粒子组成,是一种表现集体行为的准中性气体。
粉末冶金等离子体是一种可提供高反应性状态的离解高温导电气体。等离子体温度为4000~10999℃,气态分子和原子处于高度活化状态,等离子体气体中的电离度很高。这些特性使等离子体成为非常重要的材料制备和加工技术。等离子加工技术得到广泛应用,如等离子CVD、低温等离子PBD、等离子和离子束蚀刻等。目前,等离子体主要用于氧化物涂层和等离子体蚀刻,在制备高纯度碳化物和氮化物粉末方面也有一定的应用。等离子体的另一个有前景的应用领域是陶瓷材料的烧结。
产生等离子体的方法包括加热、放电和光激发。放电产生的等离子体包括直流放电、射频放电和微波放电等离子体。SPS使用直流放电等离子体。
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